1、粗糙度参数 (R-profile经过滤波的粗糙度轮廓 ):
Ra, Rz(Rz4, Rz3, Rz2, Rz1), Rmax, Rt, Rz-ISO, Rpc, Rp, Rpm, Rq, R3z, RSm, Rmr(c) (= tp).
(2) 珩磨表面参数Roughness Parameters (ISO 13565):Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
(3)日本标准参数JIS- B 0601:Rz-JIS, Rmax-JIS
(4)法国标准参数Motive Parameters(ISO 12085):R, Rx, AR, P dc (CR, CL, CF)
(5)轮廓记录和输出:R-粗糙度轮廓, Rk-轮廓, 材料支承率tp曲线
2、测量原理:探针扫描法,使用驱动单元;
3、最大行程长度:17.5毫米
4、测量行程长度:1.5, 4.8, 15毫米,也可选用 1-5 倍基本长度(截止波长)
5、测量评定长度:1.25, 4.0, 12.5毫米,
6、测量速度:0.1; 0.15; 0.5; 1.0mm/s,测量速度和截止波长与测量长度相关联
7、探头:单滑块探头;
8、测量范围:0~200μm;
9、轮廓分辨率:12nm;
10、最小分辨率: 0.001μm(1nm) ;
11、测量力: 0.8 mN;
12、截止波长:可根据国际标准选择0.025/0.08/0.25/0.8/2.5mm滤波器,亦可以从0.001-80mm 任意设定滤波器截止波长;或由计算机根据取样长度(截止波长)与测量长度的比例关系自动设定。
13、试样类型:平面;
14、水平方向采样点数: 海量采样点多达600,000点。
15、检测可设置单面测量、双面测量,点数根据用户需求设定。
16、支持数据自动采集功能,卖方协助完成设备与买方ERP或LIMS系统的连接。(选装功能)